Poznań: Dostawa urządzeń stanowiących część wyposażenia dla laboratorium litografii elektronowej
Numer ogłoszenia: 402908 - 2012; data zamieszczenia: 17.10.2012
OGŁOSZENIE O UDZIELENIU ZAMÓWIENIA - Dostawy

Zamieszczanie ogłoszenia: obowiązkowe.

Ogłoszenie dotyczy: zamówienia publicznego.

Czy zamówienie było przedmiotem ogłoszenia w Biuletynie Zamówień Publicznych: tak, numer ogłoszenia w BZP: 250182 - 2012r.

Czy w Biuletynie Zamówień Publicznych zostało zamieszczone ogłoszenie o zmianie ogłoszenia: nie.

SEKCJA I: ZAMAWIAJĄCY

I. 1) NAZWA I ADRES: Instytut Fizyki Molekularnej PAN, ul. Mariana Smoluchowskiego 17, 60-179 Poznań, woj. wielkopolskie, tel. 061 8695100, faks 061 8684524.

I. 2) RODZAJ ZAMAWIAJĄCEGO: Inny: instytut naukowy.

SEKCJA II: PRZEDMIOT ZAMÓWIENIA

II.1) Nazwa nadana zamówieniu przez zamawiającego: Dostawa urządzeń stanowiących część wyposażenia dla laboratorium litografii elektronowej.

II.2) Rodzaj zamówienia: Dostawy.

II.3) Określenie przedmiotu zamówienia: Zadanie nr 1 Depozytor rotacyjny (spin coater) Wymagania: 1.Wyposażony w ?-kontroler oraz dotykowy panel operacyjny. 2.Parametry użytkowe urządzenia: a)zapisywanie procedur - nie mniej niż 40, b)liczba kroków w jednej procedurze - nie mniej niż 20, c)regulowana prędkość wirowania, przyspieszenia oraz czasu, d)maksymalna prędkość wirowania nie mniejsza niż 10000 rpm z dokładnością ? 1 rpm, e)alarm akustyczny sygnalizujący koniec procedury. f)Zagwarantowana łatwość czyszczenia depozytora np. poprzez wymienne wkłady z tworzywa. 3.Próżniowe mocowanie substratu (odpowiedni układ próżniowy zintegrowany z urządzeniem). 4.Urządzenie wyposażone w uchwyty pozwalający na montowanie podłoży o rozmiarach od 3x3 mm do 2 cali. 5.Gwarancja minimum 12 miesięcy Zadanie Nr 2 Płyta grzejna (hot plate) Wymagania: 1.Cyfrowy kontroler temperatury 2.Zakres temperatur od 25 do 250oC (dokładność +/- 1oC przy 100oC) 3.Próżniowe mocowanie podłoży (pompa zintegrowana z urządzeniem) 4.Rozmiar podłoży do 150 mm, grubość do 5 mm 5.Gwarancja minimum 12 miesięcy Zadanie Nr 3 Profilometr kontaktowy Wymagania: Przyrząd powinien umożliwiać rejestrowanie i analizę dwu- i trój-wymiarowych profili powierzchni z rozdzielczością w kierunku pionowym na poziomie nie większym niż 0.1 nm i powtarzalności w pomiarach uskoku na poziomie nie gorszym niż 0.6 nm. W tym celu powinien być wyposażony w odpowiedni komputer (z systemem Windows 7) z monitorem (23 cale, rozdzielczość 1920 x 1080) i oprogramowaniem pozwalającym na: -.składanie profili - wizualizację trójwymiarowych map w trakcie ich rejestrowania, - wyznaczanie naprężeń, - automatyczne zbieranie profili w różnych miejscach preparatu oraz ich wszechstronną analizę. Wszystkie elementy urządzenia powinny być dostosowane do zasilania z ogólnie dostępnej sieci elektrycznej. Obserwacja próbki przy pomocy kolorowej kamery CCD z regulowanym powiększeniem powinna pozwalać na uzyskanie pola widzenia w zakresie od maksimum 1 mm do minimum 4 mm. Siła nacisku powinna być regulowana w zakresie od maksymalnie 0.05 mg do minimalnie 15 mg, dla zakresu pomiarowego w osi Z wynoszącego 1 mm przy pomocy jednej głowicy pomiarowej. Wymiana końcówek pomiarowych powinna się odbywać za pomocą uchwytów pozwalających na szybką wymianę końcówek. Urządzenie powinno być wyposażone w: -Zmotoryzowany stolik (lub zestaw stolików) X/Y o zakresie przesuwu nie mniejszym niż 100 x 100 mm, pozwalający na pomiar próbek o grubości do 50 mm, średnicy od 4 do 6 cali, w tym również bardzo małych próbek np. o wymiarach 5 x 5 mm, wymagane jest zapewnienie możliwości próżniowego mocowania próbek (odpowiednia pompa dołączona do zestawu). -Optycznie gładka podstawa pomiarowa o zakresie skanowania nie mniejszym niż 50 mm. -Automatyczna kompensacja nachylenia preparatu. -Cztery różne typy końcówek pomiarowych (optymalnie o promieniach: 50 nm, 0.2 mm, 0.7 mm, 2 mm). -Próbki kalibracyjne o grubościach: 900 mm i 88 nm. -Standard płaskości SiC (flatness standard, D około 30mm, roughness <= 0,5 nm RMS, flatness < Lambda /50) -Stół antywibracyjny z kompresorem -Osłonę akustyczną -Zakres pomiarowy w osi Z do 1 mm.

II.4) Wspólny Słownik Zamówień (CPV): 38.54.00.00 - Maszyny i aparatura badawcza i pomiarowa .

SEKCJA III: PROCEDURA

III.1) TRYB UDZIELENIA ZAMÓWIENIA: Przetarg nieograniczony

III.2) INFORMACJE ADMINISTRACYJNE

• Zamówienie dotyczy projektu/programu finansowanego ze środków Unii Europejskiej: nie

SEKCJA IV: UDZIELENIE ZAMÓWIENIA

IV.1) DATA UDZIELENIA ZAMÓWIENIA: 04.10.2012.

IV.2) LICZBA OTRZYMANYCH OFERT: 2.

IV.3) LICZBA ODRZUCONYCH OFERT: 1.

IV.4) NAZWA I ADRES WYKONAWCY, KTÓREMU UDZIELONO ZAMÓWIENIA:

• Sawatec AG, Eschagger 2, Sax, kraj/woj. Szwajcaria.

IV.5) Szacunkowa wartość zamówienia (bez VAT): 33090,00 PLN.

IV.6) INFORMACJA O CENIE WYBRANEJ OFERTY ORAZ O OFERTACH Z NAJNIŻSZĄ I NAJWYŻSZĄ CENĄ

• Cena wybranej oferty: 52084,00

• Oferta z najniższą ceną: 52084,00 / Oferta z najwyższą ceną: 52084,00

• Waluta: PLN.

IV.1) DATA UDZIELENIA ZAMÓWIENIA: 04.10.2012.

IV.2) LICZBA OTRZYMANYCH OFERT: 1.

IV.3) LICZBA ODRZUCONYCH OFERT: 0.

IV.4) NAZWA I ADRES WYKONAWCY, KTÓREMU UDZIELONO ZAMÓWIENIA:

• Sawatec AG, Eschagger 2, Sax, kraj/woj. Szwajcaria.

IV.5) Szacunkowa wartość zamówienia (bez VAT): 41968,00 PLN.

IV.6) INFORMACJA O CENIE WYBRANEJ OFERTY ORAZ O OFERTACH Z NAJNIŻSZĄ I NAJWYŻSZĄ CENĄ

• Cena wybranej oferty: 18432,00

• Oferta z najniższą ceną: 18432,00 / Oferta z najwyższą ceną: 18432,00

• Waluta: PLN.

IV.1) DATA UDZIELENIA ZAMÓWIENIA: 17.09.2012.

IV.2) LICZBA OTRZYMANYCH OFERT: 1.

IV.3) LICZBA ODRZUCONYCH OFERT: 1.

IV.4) NAZWA I ADRES WYKONAWCY, KTÓREMU UDZIELONO ZAMÓWIENIA:

• LABSOFT, ul. Wantule 12, 02-828 Warszawa, kraj/woj. mazowieckie.

IV.5) Szacunkowa wartość zamówienia (bez VAT): 325204,00 PLN.

IV.6) INFORMACJA O CENIE WYBRANEJ OFERTY ORAZ O OFERTACH Z NAJNIŻSZĄ I NAJWYŻSZĄ CENĄ

• Cena wybranej oferty: 400000,00

• Oferta z najniższą ceną: 400000,00 / Oferta z najwyższą ceną: 400000,00

• Waluta: PLN.